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日立 超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

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产品介绍：


现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。


Regulus系列继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。


通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。


此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。


Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的性能。


*1 Regulus8240/8230/8220


产品特点：


  • 沿用SU8200系列的冷场发射电子枪*2

  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空样品仓

  • 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2


*2 Regulus8240/8230/8220


产品规格：



项目

 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次电子分辨率 0.7 nm
（加速电压15 kV）		 0.6 nm（加速电压 15 kV）
0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3
0.8 nm
（着陆电压1 kV）*3
着陆电压 0.1～2 kV 0.01～20 kV
放大倍率 20～1,000,000倍*4 20～2,000,000倍*4

样

品

台

 样品台控制 3轴马达台（可选5轴马达台） 5轴马达驱动

移

动

范

围

 X 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～110 mm
Y 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～80 mm
R 360°
T -5～70°
Z 1.5～30 mm 1.5～40 mm
再现性 - - - ±0.5 µm以下含
±0.5 µm


*3 减速模式下观察


*4 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率